1.總結(jié)了微機械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅(qū)動技術(shù),推導了計及邊緣效應的梳狀靜電驅(qū)動器靜電力公式。
2.交流變頻電驅(qū)動鉆機采用VFD驅(qū)動和數(shù)字控制技術(shù),可簡化絞車結(jié)構(gòu),提高鉆機性能。
3., 總結(jié)了微機械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅(qū)動技術(shù),推導了計及邊緣效應的梳狀靜電驅(qū)動器靜電力公式。
4.總結(jié)了微機械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅(qū)動技術(shù),推導了計及邊緣效應的梳狀靜電驅(qū)動器靜電力公式。